真空泵的工作原理是从密封容器中高速高效地排除气体，以达到产生,改善和维持真空的目的。而真空泵油不仅作为获得真空的介质，而且还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。这就要求真空泵油具备以下几方面性能：

1、 合适的粘度及良好的粘温特性。真空系统利用泵腔内容积不断变化而成成排气作用，要求真空泵油具有合适的粘度和良好的粘温特性；

2、 良好的热氧化安定性。真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速磨擦使油温升高，因此使油的热和氧化作用加剧，而扩散泵往往处于很高的环境温度下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性；

3、 极低的蒸汽压。由于真空泵要求真空度达到1.33×10-4Pa,高的要求达到1.33×10-4Pa以下，因此要求真空泵油的蒸发性极低，一般要用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。

4、 良好的抗腐蚀性与抗乳化性。真空泵吸入的如果是腐蚀气体，会腐蚀泵内金属零件，与油发生化学变化。另外，吸入空气中往往含有水汽，引起真空泵油的乳化，故要求有良好的抗腐蚀性与抗乳化性；

5、 较高的闪点。要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压；　　

6、 较低的极限压力。极限压力是真空泵油重要的使用性能指标，以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。

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